Мейлихов Е.З.

 Изобретение относится к технологии создания рисунков с помощью заряженных частиц и может быть использовано при изготовлении различных электронных приборов, запоминающих устройств и т.д., имеющих сложные структуры, состоящие из множества сверхмалых элементов. Способ получения рисунка включает в себя пропускание пучка заряженных частиц через маску и его последующую фокусировку на облучаемую...

 Использование: в микроэлектронике для создания сверхминиатюрных приборов, интегральных схем, запоминающих устройств и оптических элементов. Техническим результатом изобретения является повышение разрешающей способности структуры путем создания отдельных ее элементов размером от нескольких нанометров до десятков нанометров. Сущность изобретения: способ включает нанесение на подложку слоя м...

 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве магнитных носителей информации. Способ изготовления магнитного носителя включает нанесение на подложку пленки из материала, изменяющего свои магнитные свойства под воздействием потока заряженных частиц, и формирование в ней регулярной структуры из единичных магнитных элементов облучением выбранных участ...

 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве магнитных носителей информации. Способ изготовления магнитного носителя включает формирование регулярной структуры, состоящей из однодоменных магнитных частиц, разделенных немагнитным или слабомагнитным материалом. Особенность способа состоит в том, что магнитные частицы размещают пространственно выделе...