Енг Ки Мин (KR)

 Структура относится к проекционным системам. Периодическая структура из М x N связанных с приводом зеркал для использования в оптической проекционной системе содержит активную матрицу, периодическую структуру из М x N упругих элементов, периодическую структуру из М x N пар рабочих структур, периодическую структуру из М x N зеркал и периодическую структуру из М x N пар поддерживающих элеме...

 Изобретение относится к оптической проекционной системе. Технический результат заключается в разработке матрицы тонкопленочных активных зеркал для использования в оптической проекционной системе, которая не требует высокотемпературной обработки в процессе ее изготовления. Матрица тонкопленочных приводных зеркал размерностью М N включает в себя активную матрицу, подложку с матрицей соедин...