Советов Н.М.

 Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники. Цель изобретения - повысить качество и разрешающую способность при производстве микроструктур, расширить спектр применяемых материалов. Пучок нейтральных атомов формируется на основе резонансного взаимодействия с полем стоячей волны монохроматического электр...

 Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники. Технический результат: повышение контрастности и четкости изображения, наносимого на микрообъект. Пучок нейтральных атомов формируют лазерным излучением оптического диапазона в три стадии: 1. Атомы охлаждают в интерференционных узлах трехмерной стоячей волны...