Александрова А.Т.

 Использование: для герметизации вакуумных объемов при шлюзовании полупроводниковых изделий в процессе обработки. Сущность: устройство для шлюзования содержит установленные ступенчато-последовательно загрузочную, шлюзовую и технологическую камеры, снабженные приспособлениями для транспортировки изделий, камеры сообщаются через отверстия, перекрываемые высоковакуумными затворами, затворы и...

 Изобретение относится к устройствам для перемещения изделий, которые могут быть использованы в общем машиностроении, электронной и химической промышленности. Устройство содержит опоры для изделий. Одна из опор имеет приводы ее вертикального и горизонтального перемещения. Каждый из приводов содержит полые упругие элементы, выполненные одинаковыми и сообщенные с источником давления рабочей...

 Изобретение относится к запорной арматуре, в частности к затворам, и предназначено для перекрытия воздуховодов и вакуумных линий, а также в качестве выпускных устройств. Затвор содержит корпус с каналом, запорный элемент с уплотнением, седло с проходным окном, привод перемещения запорного элемента и направляющие. Проходное окно в седле сообщено с каналом корпуса. Седло выполнено с сопряже...

 Источник предназначен для получения газа для пневмопривода. Источник газа для привода содержит полый корпус с отверстием для выхода газа, в который помещен элемент, содержащий сплав-накопитель водорода, и нагревательный элемент, выполненный в виде электронагревательной трубки, предназначенной для подачи через нее охлаждающей жидкости и покрытой слоем изоляции. Технический результат - повы...

 Изобретение касается средств передачи рабочего тела и может быть использовано для пневмомагистралей замкнутого типа. Устройство для подачи газа в пневмосистему содержит, по меньшей мере, два источника водорода, каждый из которых включает полый корпус с размещенным в нем элементом, содержащим сплав-накопитель водорода, и средство для нагрева и охлаждения. Запорные органы каждой пары соедин...

 Изобретение относится к вспомогательным приспособлениям для электронных микроскопов и может быть использовано в качестве координатного стола при работе с другими приборами. Изобретение позволяет обеспечивать позиционирование в требуемом направлении при обеспечении его высокой точности. Изобретение содержит две параллельные платформы и привод перемещения, включающий размещенные между платф...

 Механизм предназначен для возвратно-поступательного перемещения исполнительного органа. Механизм содержит несущую раму и, по меньшей мере, два захвата, каждый из которых включает направленные в противоположные стороны с возможностью удержания рамы губки, закрепленные на противоположных частях упругого трубчатого элемента, предназначенного для сообщения с источником текучей среды, и два пр...

 Изобретение относится к оборудованию для прецизионного перемещения изделий машиностроения и может быть использовано в вакуумном оборудовании для прецизионного перемещения рассматриваемых предметов, например, в точных профилометрах и в некоторых простых вариантах сканирующих микроскопов. Координатное устройство содержит основание, каретку и шариковый винтовой привод, включающий шариковую в...

 Изобретение относится к строительству и используется при сооружении и эксплуатации трубопроводов. Опора содержит стойку, блоки и огибающий их, соединенный с грузами, трос для создания воздействующего на трубопровод усилия. Опора снабжена закрепленным в грунте полым основанием, в котором с противоположных сторон выполнены продольные пазы, а стойка поддерживает трубопровод и размещена в пол...

 Привод и схват предназначены для перемещения рабочего органа из одного положения в другое. Привод перемещения содержит упругодеформируемый элемент, выполненный в виде четырех изогнутых плоских трубок, соединенных своими концами с образованием замкнутого контура, так что две первые противоположные трубки изогнуты в направлении друг к другу, а две вторые - в направлении друг от друга, и уст...

 Изобретение относится к механизмам с гибкими звеньями, имеющим самое широкое назначение. Механизм содержит каретку (6), несущую на противоположных концах ролики (7), взаимодействующие с гибким органом (5), охватывающим приводной ролик (9). Каретка опирается на основание через ролики (3 и 8), соответственно закрепленные на основании (1) и конце каретки (6). При вращении ролика (9) происход...

 Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для использования в качестве натекателя газа в вакуумных системах. Клапан содержит запорный элемент, седло и средство прижатия запорного элемента к седлу. Последнее выполнено в виде трубчатого упругодеформируемого элемента. Указанный элемент предназначен для взаимодействия с запорным элементом и имеет в поперечном сечении фигуру, с...