Ермаков Е.С.

  Мв 140142 Класс ЯЬ,7о, СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Е, С. Ермаков ЗАЖИМ ДЛЯ КОЖИ Заявлено 26 января 1960 г. за М 652016, 26 в Комитет ио делам изопретений и открвггий при Совете Министров СССГ Он :пликоваио в «Бюллетене изооретеиий» М 15 за 1961 г. И з в ест н ы з а ж и м ы д 7 $1 1(o >I(I I, B bl !7 о 1 H e H H bl P c э к с ц е и т Р и ко в ы A...

 Использование: для герметизации вакуумных объемов при шлюзовании полупроводниковых изделий в процессе обработки. Сущность: устройство для шлюзования содержит установленные ступенчато-последовательно загрузочную, шлюзовую и технологическую камеры, снабженные приспособлениями для транспортировки изделий, камеры сообщаются через отверстия, перекрываемые высоковакуумными затворами, затворы и...

 Изобретение относится к устройствам для перемещения изделий, которые могут быть использованы в общем машиностроении, электронной и химической промышленности. Устройство содержит опоры для изделий. Одна из опор имеет приводы ее вертикального и горизонтального перемещения. Каждый из приводов содержит полые упругие элементы, выполненные одинаковыми и сообщенные с источником давления рабочей...