Золотова Г.А.

 Устройство для выращивания монокристаллов, включающее камеру роста, тигель для расплава, расположенный в полости нагревателя и, средство подачи исходного материала в тигель в виде установленных в герметичном корпусе с загрузочным люком поворотного контейнера, питателя и вакуумного шибера, отличающееся тем, что корпус выполнен из двух камер, в одной из которых расположен поворотный контейн...

 Изобретение относится к технологии получения кристаллов методом Чохральского с использованием подпитки расплава исходным материалом. Обеспечивает повышение выхода бездислокационных кристаллов и снижение расхода электроэнергии. Устройство содержит камеру роста, тигель для расплава с разделительным кольцом, нагреватель и средство подпитки расплава. Нагреватель имеет выступ в виде кольца, ра...

 Изобретение относится к получению кристаллов методом Чохральского и обеспечивает безопасность обслуживания устройства, повышает надежность его работы и снижает теплопотери. Сущность изобретения: устройство содержит камеру роста, тигель для расплава, нагреватель с токовводами и патрубок для вакуумирования камеры. Токовводы закреплены в боковой стенке камеры. Нагреватель соединен с токоввод...

 Использование: изобретение относится к области получения монокристаллов Чохральского. Сущность изобретения: устройство содержит камеру роста с верхней крышкой, фиксаторы, тигель для расплава, нагреватель, затравкодержатель с затравкой и горизонтальный тепловой экран, затравкодержатель с затравкой размещен внутри установленного на нем цилиндрического теплового экрана с крышкой. Последний с...

 Использование: изобретение относится к технологии получения монокристаллов методом Чохральского. Обеспечивает повышение надежности устройства и улучшение качества монокристаллов. Сущность изобретения: устройство содержит камеру роста с верхней крышкой, тепловой узел, затравкодержатель с шарниром, гибкий элемент, верхним концом соединенный с намоточным барабаном. Последний расположен в кор...

 Изобретение относится к оборудованию, предназначенному для получения крупногабаритных монокристаллов кремния методом Чохральского. Технический результат - упрощение конструкции, повышение надежности устройства и чистоты процесса. Устройство содержит герметичную камеру, имеющую верхнюю и нижнюю части. Тигель с расплавом размещен в нижней части камеры. Затравкодержатель расположен в верхней...