Огурцов А.И.

 Использование: изготовление фотошаблонов сверхбольших интегральных схем (СБИС) и самих СБИС методом прямой электронолитографии по полупроводниковой пластине. Сущность изобретения: при формировании микроизображений программно-управляемо последовательно облучают электронорезист электронным лучом в виде прямоугольных штампов, размер которых определен максимальной плотностью сечения луча в пл...

 Изобретение относится к электролитическому получению алюминия, а именно к электролизерам для получения алюминия с самообжигающимися анодами и верхним токоподводом, оснащенным устройствами для автоматической подачи сырья. В электролизере для получения алюминия, включающем анодный кожух, газосборный колокол и устройство для подачи сырья, соединенное с полостью газосборного колокола и состоя...

 Электролизер для получения алюминия содержит анодный кожух, газосборное укрытие и устройство для подачи сырья, состоящее из бункера, дозатора и пробойника электролитной корки со штоком и приводом. Дозатор выполнен в виде трубы, герметично закрытой сверху и открытой снизу, разделенной газопроницаемой диафрагмой на верхнюю камеру, соединенную с эжектором либо с вакуумной линией, и нижнюю ра...