Смирнов Игорь Сергеевич (RU)

Изобретение относится к исследованию материалов с помощью тепловых средств, а именно к идентификации промежуточных фаз в монокристаллах силикатов. Предложен способ идентификации промежуточных фаз в монокристаллах силикатов, заключающийся в осуществлении термостатического нагрева и регистрации происходящих при этом фазовых переходов посредством масс-спектрометра, фиксирующего изменение парциальных...

Изобретение относится в измерительной техники, а именно к способам неразрушающего контроля объектов в микро- и наноэлектронике. В способе определения температур фазовых переходов в пленках и скрытых слоях многослойных структур нанометрового диапазона толщин нагреваемый образец облучают потоком выходящего из источника рентгеновского излучения и осуществляют регистрацию отраженного от поверхности об...