Поволоцкий Е.Г.

  Использование: микроэлектроника, технология изготовления прецизионных тонкопленочных резисторов. Сущность изобретения: пленку (П) на основе сплава тантал - алюминий с содержанием тантала 40 - 60 ат.% осаждают методом катодного распыления мишеней тантала и алюминия в атмосфере кислорода. Парциальное давление кислорода поддерживают равным (6,65-7,98)10-2 , а осаждение П осуществляют со ско...

 Изобретение относится к электронной технике для изготовления объемных композиционных резисторов, применяемых в свечах зажигания для двигателей внутреннего сгорания. Композиционный материал состоит из боросиликатного стекла, дисилицида молибдена, карбида кремния, оксида алюминия, углерода и позволяет значительно повысить стабильность сопротивления при воздействии высокого напряжения и темп...