ФЕДОРОВ Ю.И.

  . в " 1ф g о . .Ю ОП И АНИЕ (1)2955!7 Сони Советских Социалистических Республик ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.07.68 (21) 1258996/30-15 (51) М. Кл. б 07с 11/00 с присоединением заявки № ГосУдаРственный комитет (32) Приоритет Совета кйннистров СССР по делам изобретений и открытий Опубликовано 05.03.75. Бюллетень № 9...

  НЕГАТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ, включающий полиэфир, содержащий светочувствительные группировки вида (dH dHJ -dgHs -dII о гд& п J-3 например поливинилциннамат, сенсибилизатор и растворители, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности и разрешающей способности фоторезиста и повышения качества воспроизведения субмикронных элементов, в своем составе фоторезист дополнительн...

  ПОЗИТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ, вклю .чающий сульфоэфиро-нафтодиазохинона,. новолачную смолу и растворитель, отличающийся тем, что. с целью повышения стабильности разрешающей способности и качества воспроизведения субмикронных элементов , в своем составе фоторезист дополнительно содержит комплексообразующую добавку, например йод или тетрадианэтилен , или тринитрофенол, или тетрацианхиноди...