Шелепин Н.А.

 Использование: в устройствах измерения перемещений, ускорений, потока, силы и давления. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой прямоугольный модуль из кремния с концентратором механических напряжений в виде поперечного углубления заданных размеров, на рабочей поверхности которого сформирован тензорезистивный мост. Кроме того, для улучшения эксп...

  Использование: в устройствах измерения давления. Сущность изобретения: интегральный преобразователь давления представляет собой полупроводниковый кристалл с мембраной, на рабочей поверхности которого сформирован тензорезистивный мост. Каждый тензорезистор окружен высоколегированной охранной областью. На поверхности преобразователя имеется не менее одного омического контакта к кристаллу,...

  Использование: в устройствах измерения перемещений и силы. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой прямоугольный модуль из кремния с двумя концентраторами механических напряжений в виде поперечных углублений заданных размеров, на рабочей поверхности которых сформирован тензорезистивный мост. Кроме того, для улучшения характеристик прибора в кра...

 Использование: в устройствах измерения перемещений, ускорений, деформации, силы и давления. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой монокристалл, изготовленный из кремниевой подложки n-типа проводимости с концентратором механических напряжений в виде поперечного углубления заданных размеров со стороны не рабочей поверхности. На рабочей поверхнос...

 1. Интегральный кремниевый тензоакселерометр, содержащий выполненные из единой монокристаллической кремниевой подложки с рабочими поверхностями в одной плоскости основание, закрепленное в корпусе, инерционную массу и соединяющий их концентратор механических напряжений, толщина которого меньше толщины основания, на рабочей поверхности концентратора механических напряжений в монокристалле р...

 Использование: в измерительной технике. Сущность: способ включает формирование на обеих поверхностях кремниевой пластины первого типа проводимости диэлектрического слоя, нанесение на рабочую сторону пластины слоя тугоплавкого металла, вскрытие окон в периферийной части пластины, анизотропное травление на глубину, равную толщине у других элементов, фотолитографию и вскрытие окон для формир...

 Использование: в высокоточных тензометрических весах, в качестве тензометрического преобразователя механических величин в электрический сигнал в различных системах контроля и управления технологическими процессами. Сущность изобретения: датчик содержит два размещенных один внутри другого упругих параллельных элемента, каждый с силовыми плечами, соединенными двумя упругими балочками с утон...

 Использование: в измерительной технике. Технический результат изобретения заключается в повышении надежности за счет увеличения сцепления между пленкой с поверхностью матрицы сенсоров. Сущность: чувствительный элемент (ЧЭ) содержит основание, матрицу сенсоров давления, которая размещена на основании, и полимерную пленку поверх матрицы. Полимерная пленка закреплена по периметру матрицы на...

 Использование: технология изготовления интегральных датчиков. Сущность: способ изготовления интегрального датчика, использующего в качестве чувствительного элемента поликремниевую поверхностную микромеханическую структуру, включает в себя формирование на монокристаллической кремниевой подложке соединений между поликремниевой структурой и схемой путем осаждения слоя высоколегированного пол...

 Изобретение предназначено для обеспечения высокоточного измерения давлений в широком диапазоне температур и давлений. Предлагаемое изобретение заключается в том, что основание датчика выполняется из двух или более частей и имеет специфическую Т-образную форму. Верхняя часть основания полностью идентична с кремниевым чувствительным элементом по конфигурации, размерам и кристаллографической...