ЧЕПИК Л.Ф.

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ путем нанесения на покрываемую поверхность продукта, полученного гидролизом тетраэтоксисилана водой в органическом растворителе в присутствии кислого катализатора-диффузанта с последующим обжигом его, отличающийся тем, что, с целью достижения более точной дозировки диффузанта, облегчения воспроизведения р-п-переходов с малой гл...