Лоример Дарси Х. (US)

 Изобретение может быть использовано в системах сверхвысокого вакуума для производства полупроводников. Модуль геттеронасоса выполняют из геттерных дисков с осевыми отверстиями и устройства для нагрева, пропущенного через упомянутые отверстия, который служит опорой геттерным дискам. Устройства предназначены для нагрева дисков. Геттерные диски преимущественно представляют собой сплошные пор...