ЖИГАЧ А.Ф.

  О П И С--А Н И- -ЕИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик (")31 9231 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено29,05.69 (21) 1334371/23-5 (51) M. Кл С 08 G 33/20 с присоединением заявки № (23) Приоритет Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (43) Опубликовано 25,09 76.Бюллетень № 35 (45) Да...

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТЛК- СПАЛЬНЫХ СЛОЕВ путем осуществления химической реакции в газовой фазе слегированием соединениями бора, о тличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости процесса легирования, в качестве легирующего соединения бора используют карборановые соединения.*2. Способ по п. 1, о т л и ч аю щ и и с я тем, что в качестве карборановых соединений бора испол...