СКВОРЦОВ И.М.

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТЛК- СПАЛЬНЫХ СЛОЕВ путем осуществления химической реакции в газовой фазе слегированием соединениями бора, о тличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости процесса легирования, в качестве легирующего соединения бора используют карборановые соединения.*2. Способ по п. 1, о т л и ч аю щ и и с я тем, что в качестве карборановых соединений бора испол...

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ БОРОМ СЛОЕВ, например, двуокиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкой соединения бора, отличающийся тем, что, с цепью обеспечения безопасности процесса и повьнпения воспроизводимости параметров получаемых слоевf 'в качестве соединения бора используют карбонаты общей формулы В^С^Н^^^и их производные, например, изопропилкарборан...

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТАК- СИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ осаждениемих из паро-газовой смеси на легированной бором нагретой подложке, отличающийся тем, что, с целью регулирования концентрации бора в газовой фазе и упропдения .процесса, после нагревания подгложки до рабочей температуры в /реакционную камеру вводят пары воды В; количестве не .более 2 -Ю"' мол .%. Г 1Г с ,4 + EJjl СОЮЗ С...

  СПОСОБ ПОЛ>& :?.НИЯ ЭПИТАК- СИАЛЬНЬК ПОЛУИЗОЛИРУЮЩИХ СЛОЕВ АР- СЕНИЦА ГАЛЛИЯ путем выращивания из газовой фазы, например (Ga-AsCl,-Н ),содержащей пары легирующей примеси с глубокими уровнями, отличающийся тем, что, с целью получения структурно соверщенных слоев, обеспечения контролируемого легирования и повышения его технологичности, в качестве легирующей примеси ис...