СИРЯТСКАЯ В.Н.

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТЛК- СПАЛЬНЫХ СЛОЕВ путем осуществления химической реакции в газовой фазе слегированием соединениями бора, о тличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости процесса легирования, в качестве легирующего соединения бора используют карборановые соединения.*2. Способ по п. 1, о т л и ч аю щ и и с я тем, что в качестве карборановых соединений бора испол...