Азатян В.В.

  Изобретение может быть использовано при изготовлении подзатворных, межслоистых и пассивирующих покрытий для многоуровниевых сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: тонкую пленку диоксида кремния получают окислением дихлорсилана, причем реакцию проводят в квазистатических условиях при однократном воспламенении, а пламя инициируют удаленным из подложки импульсным локальным ис...

  Изобретение может быть использовано при изготовлении межслоистых и пассивирующих покрытий для многоуровниевых сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: тонкие пленки диоксида кремния получают окислением дихлорсилана в тлеющем разряде постоянного тока. Способ позволяет получать пленки при комнатной температуре. Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к по...

 Использование: микроэлектроника, получение тонких диэлектрических покрытий при изготовлении сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: способ получения тонких диэлектрических покрытий, включает возбуждение с помощью индуктора ВЧ-разряда с плотностью мощности не выше 0,7 Вт/см3 в газовой смеси, содержащей либо SiCl4, либо карбонилы металлов в смеси и/или аммиаком при общем давле...

 Использование: технология получения полупроводниковых материалов, в производстве интегральных микросхем и фотоприемных устройств. Сущность изобретения: в способе осаждения слоев аморфного германия на подложке, расположенной в зоне осаждения реактора, путем терморазложения моногермана, процесс проводят при температуре 160-290oС, давлении 660-5300 Па в изотермическом статическом реакторе пр...

 Изобретение относится к способам предотвращения воспламенения и взрыва водородно-воздушных смесей. Способ предотвращения воспламенения и взрыва водородо-воздушных смесей заключается в том, что вводят ингибитор в водород или воздух до образования водородо-воздушных смесей или в водородо-воздушные смеси. В качестве ингибитора используют по меньшей мере один углеводород нормальной, циклическ...

 Использование: в области электротехники, в частности в электростанциях, например, атомных. Способ охлаждения обмоток турбогенератора заключается в том, что нагнетают водород при избыточном давлении в корпус статора турбогенератора. Вводят ингибитор в водород до его нагнетания в корпус статора или непосредственно в турбогенератор. В качестве ингибитора используют, по меньшей мере, один нас...

 Сущность изобретения: топливо содержит до 33 об.% моноксида углерода, 0,1-11 об.% ингибитора - по меньшей мере один углеводород из гомологических рядов алифатических, олефиновых углеводородов нормальной и изоструктуры, циклических углеводородов, в том числе ароматических, содержащих в молекуле от 1 до 8 атомов углерода, и остальное водородовоздушную смесь и моноксид углерода при содержани...

 Состав относится к области предотвращения воспламенения и взрыва горючих смесей, преимущественно водородо- и метановоздушных. Состав включает ингибитор, выбранный из ряда по меньшей мере одного углеводорода, содержащего от 2 - 8 атомов углерода в молекуле, и по крайней мере одного фторсодержащего хладона из ряда трифторметан, трифторхлорметан, трифториодметан, пентафторэтан, гептафторпроп...

 Композиция применима в холодильных установках. Композиция хладагента содержит в качестве фторсодержащего хладона по крайней мере одно соединение, выбранное из ряда трифторметан, тетрафторметан, трифторйодметан, пентафторэтан, пентафторйодэтан, гептафторпропан, октафторциклобутан, перфторбутан в количестве 55-87 об.% и в качестве смеси углеводородов бытовой газ в количестве 13-45 об. %. До...

 Изобретение относится к области предотвращения воспламенения и взрыва. Ингибитор - углеводород, содержащий 2-C8, разбавляют инертным газом. Соотношение ингибитор 5-10 об.%, инертный газ остальное. Предпочтительно ингибитор - смесь предельных и непредельных углеводородов пропана, бутана и пропилена. Инертный газ - азот, диоксид углерода, аргон и их смеси. Приготовленный состав вводят в гор...