Горбань Александр Николаевич[UA]
Изобретатель Горбань Александр Николаевич[UA] является автором следующих патентов:
Способ легирования твердого тела
Использование: электронная техника, способы термического легирования твердых тел. Сущность изобретения: способ легирования твердого тела включает последовательное нанесение на поверхность полупроводниковой пластины маскирующих диэлектрических слоев, по крайней мере один из которых вызывает механические деформации в полупроводниковой пластине, создание маски фотолитографией, диффузию легир...
2102816