Кравчина Виталий Викторович[UA]

 Использование: электронная техника, способы термического легирования твердых тел. Сущность изобретения: способ легирования твердого тела включает последовательное нанесение на поверхность полупроводниковой пластины маскирующих диэлектрических слоев, по крайней мере один из которых вызывает механические деформации в полупроводниковой пластине, создание маски фотолитографией, диффузию легир...