ЧАНГ Дэниел (CN)

Оптическое электромеханическое устройство содержит проводящий оптический поглотитель, сформированный над подложкой, по меньшей мере одну поддерживающую структуру, которая сформирована над подложкой, проводящий деформируемый слой, сформированный поверх указанной по меньшей мере одной поддерживающей структурой, расположенный на расстоянии от проводящего оптического поглотителя и выполненный с возмо...