Джеонг-Беом Джи (KR)

 Предоставляется матрица из M x N тонкопленочных приводимых в действие зеркал для использования в оптической проекционной системе. Технический результат изобретения заключается в создании способа изготовления матрицы приводимых в действие зеркал, который обеспечивает высокую повторяемость и надежность путем использования тонкопленочной технологии. Матрица содержит матрицу из M x N тонкопле...

 Изобретение относится к матрице из MN тонкопленочных приводимых в действие зеркал для использования в оптической проекционной системе и к способам ее изготовления. Техническим результатом является упрощение способа изготовления, повышение воспроизводимости и надежности. Эта матрица содержит активную матрицу, матрицу из MN тонкопленочных приводных структур, где каждая из тонкопленочных при...