Шупегин М.Л.

 Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания углеродсодержащих покрытий с новыми уникальными свойствами. Способ включает создание плазмы в вакуумной камере с испарением жидкого углеводорода и пучка частиц легирующего материала с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления...

 Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий, покрытий, устойчивых к химическим воздействиям и воздействию окружающей среды. Технический результат изобретения направлен на повышение качества покрытия, заключающ...