Йонг-Ки Мин (KR)

 Изобретение относится к матрице из MN тонкопленочных приводимых в действие зеркал для использования в оптической проекционной системе и к способам ее изготовления. Техническим результатом является упрощение способа изготовления, повышение воспроизводимости и надежности. Эта матрица содержит активную матрицу, матрицу из MN тонкопленочных приводных структур, где каждая из тонкопленочных при...