Е. М. Корсетов, А. Т. гков , Р. В. Щербачев
Изобретатель Е. М. Корсетов, А. Т. гков , Р. В. Щербачев является автором следующих патентов:
![Устройство для проявления фоторезиста Устройство для проявления фоторезиста](https://img.patentdb.ru/i/200x200/dc2125c9eb245464226950ba510fe5a8.jpg)
Устройство для проявления фоторезиста
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 387444 Союз Соевтокив Социалистическик Реооублик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 01.IV.1971 (¹ 1640345j26-9) с присоединением заявки № Приоритет Опубликовано 21.Ч1.1973. Бюллетень № 27 Дата опубликования описания 25.IX;1973 М. Кл. Н 01с 17/00 Комитет ло делам изобретений и открытий сои Совете Министров СССР УДК 621...
387441