Березкин В.А.

 Использование: в микроэлектронной промышленности при изготовлении газочувствительных датчиков. Сущность изобретения: датчик содержит кремниевую подложку с областями стока и истока, слой тонкого диэлектрика между ними, на котором расположен затвор. В слое толстого диэлектрика выполнены отверстия для контактов к областям стока и истока. На слое тонкого диэлектрика между затвором и слоем тол...

 Использование: в качестве нагревателя интегрального полупроводникового газового датчика, инфракрасного излучателя адсорбционного оптического газоанализатора, активатора печатающей головки струйного принтера. Технический результат - повышение надежности и долговечности теплового элемента. Сущность: наносят тонкий слой монокристаллического кремния на многослойную диэлектрическую тонкопленоч...

 Использование: в первичных преобразователях концентрации газов в электрические сигналы. Технический результат: снижение энергопотребления и расширение спектра диагностируемых газов газочувствительного датчика на основе полевого транзистора. На поверхность подложки кремния, на котором формируется газочувствительный полевой транзистор с нагревателем из поликремния, наносится многослойная ди...