Качуровский Ю.Г.

 Использование: в микроэлектронной промышленности при изготовлении газочувствительных датчиков. Сущность изобретения: датчик содержит кремниевую подложку с областями стока и истока, слой тонкого диэлектрика между ними, на котором расположен затвор. В слое толстого диэлектрика выполнены отверстия для контактов к областям стока и истока. На слое тонкого диэлектрика между затвором и слоем тол...

 Использование: в оптической микроскопии для измерения оптической разности фаз с точностью порядка 10-3 - 10-4 рад. Сущность изобретения: в интерферометре делитель освещающей волны и устройство сдвига частоты выполнены в виде оптической интегральной схемы на одномодовых полосковых волноводах с волоконно-оптическим торцевым вводом. При этом указанная интегральная схема содержит волноводный...

 Использование: в качестве нагревателя интегрального полупроводникового газового датчика, инфракрасного излучателя адсорбционного оптического газоанализатора, активатора печатающей головки струйного принтера. Технический результат - повышение надежности и долговечности теплового элемента. Сущность: наносят тонкий слой монокристаллического кремния на многослойную диэлектрическую тонкопленоч...