Лепшин П.А.

 Использование: микроэлектроника. Сущность изобретения: в способе формирования твердотельных наноструктур поверхность материала облучают потоком ионов под углом, отличным от нормали. Период получаемой структуры для каждого материала задают подбором типа ионов и величин температуры обрабатываемого материала, энергии ионов и угла их падения. Для генерирования потока ионов выбирают вещество,...