Франк Ройтер (DE)

 Изобретение относится к формованию структур, используемых в технике микросистем. В способе формования структур внутри камеры, закрываемой путем перемещения подвижной части камеры в направлении к ее неподвижной части, создают вакуум или атмосферу защитного газа и температуру формования, соответствующую формуемому материалу. Причем создание вакуума или атмосферы защитного газа в камере начи...