Н. М. Гунина, Н. В. Сафонова, Р. И. Ткачева , Н. Н. Тонких
Изобретатель Н. М. Гунина, Н. В. Сафонова, Р. И. Ткачева , Н. Н. Тонких является автором следующих патентов:
Органический проявитель для позитивных фоторезистов
О П И С 4" Н N, И ЗО Б е"гЕТЕ Н Й-Я Союз Советских Социалистических Республик 396664 Ф1, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства № —— Заявлено 25.1.1971 (¹ 1613880j23-4) М.1хл. G 03с 5/24 с присоединением заявки №вЂ” Государственный номнтет Совета 1йнонстров СССР оо делам неоеретеннй н аткрытнй Приор,итет— Опубликовано 29.VI 11.1973. Бюллетень ¹...
396664