PatentDB.ru — поиск по патентным документам

МОСКОВСКИЙ Ю.В.

Изобретатель МОСКОВСКИЙ Ю.В. является автором следующих патентов:

Способ получения легированных бором слоев

Способ получения легированных бором слоев

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ БОРОМ СЛОЕВ, например, двуокиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкой соединения бора, отличающийся тем, что, с цепью обеспечения безопасности процесса и повьнпения воспроизводимости параметров получаемых слоевf 'в качестве соединения бора используют карбонаты общей формулы В^С^Н^^^и их производные, например, изопропилкарборан...

403241