АНОХИН Б.Г.

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ БОРОМ СЛОЕВ, например, двуокиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкой соединения бора, отличающийся тем, что, с цепью обеспечения безопасности процесса и повьнпения воспроизводимости параметров получаемых слоевf 'в качестве соединения бора используют карбонаты общей формулы В^С^Н^^^и их производные, например, изопропилкарборан...

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ использующий нанесение слоев тугоплавких металлов, легированных углеродом, отличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости свойств границы раздела металла с контактирующими полупроводником и диэлектриком, углерод вводят в количестве 1-3 мас.%.2. Способ поп.1,отличающ и и с я тем, что, с целью предотвращения образования к...