МАЛЫШЕВ А.Н.

  О Л И С A H H 1 - с11 4оззз8 ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 15.03.71 (21) 1635355/26 — 25 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.08.76. Бюллетень № 29 (45) Дата опубликования описания 23.04.77 (51) М. Кл. 6 21 С 17/06 Государственный комитет Со...

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для сор.тировки поликристаплических корундовых подложек, предназначенных для изготовления СВЧ- устройств. Целью изобретения являет-; ся обеспечение возможности различения подложек, преимущественно толщиV гтг. 1 10 ной от 0,5-10. до . ,и по. их структурному состоянию и связанному с ним распределению параме...