НЕМИРОВСКИЙ Л.Н.

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ использующий нанесение слоев тугоплавких металлов, легированных углеродом, отличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости свойств границы раздела металла с контактирующими полупроводником и диэлектриком, углерод вводят в количестве 1-3 мас.%.2. Способ поп.1,отличающ и и с я тем, что, с целью предотвращения образования к...