ВАГИН В.А.

  СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТАК- СИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ осаждениемих из паро-газовой смеси на легированной бором нагретой подложке, отличающийся тем, что, с целью регулирования концентрации бора в газовой фазе и упропдения .процесса, после нагревания подгложки до рабочей температуры в /реакционную камеру вводят пары воды В; количестве не .более 2 -Ю"' мол .%. Г 1Г с ,4 + EJjl СОЮЗ С...