Суханов А.Ю.

 Изобретение относится к получению кремнийсодержащих материалов и может быть использовано в производстве хлорсиланов, применяемых в технологии микроэлектроники и высокочистого кремния. Сущность изобретения состоит в том, что в плазмохимическом реакторе возбуждают высокочастотный плазменный разряд, подают в зону разряда реагенты - водород и тетрахлорид кремния, обеспечивают их взаимодействи...