ФОМИН ГЛЕБ АФАНАСЬЕВИЧ

  О П И С А Н И Е " 439531 ИЗОБРЕТЕН ИЯ "-оюз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 27.06.72 (21) 1802359/22-1 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет Опубликовано 15.08.74. Бюллетень ¹ 30 Дата опубликования описания 17.04.75 (51) М.Кл. С 21d 9/00 Государственный комитет Совета Министров СССР...

  О П И С А Н И Е (»1 493657 ИЗОБРЕТЕН ЙЯ Союз Советских Социалистических Республик 1 ( (51) М. Кл, G 01k 7/02 (61) Дополнительное к авт. спид-ву (22) Заявлено 03.07.74 (21) 2039699/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30,11.75. Бюллетень № 44 Дата опубликования описания 16.02.76 Государственный комитет Совета Министров СССР (53) УДК 536.53?(088.8) по...

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических республик (! 1) 51501 0 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 17.09,73 (21) 1961316/24-6 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.05.76. Бюллетень № 19 (45) Дата опубликования описания 07.06.76. (51) М. Кл. F 26 В 15/18 Г 26 В 3/30 В 05 D 3/06 Гооударотоенный к...

  Союз Советских С04налистнческнх республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДИТВЛЬСТВУ (11) 618426 1 е (6l) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено25.10,76 (21)2414672/22-02 с присоединением заявки № (23) Приоритет 2 (51) М. Кл С 21 П 9/00 Р 27 В 11/06 Государственный комитет Соната Министраа СССР по делам изобретений и открытий (43) Опубликовано05.08,78.Бюллетень...

  Союз Советскик Соцналистическик Республик 796246 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 17.07,78 (2 ) 2643469/18-21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет Опубликовано 15.01.81 Бюллетень № 2 Дата опубликования описания 18.01.81 (5 I ) М. Кл, С 23 С 13/08. Тосударс ввиный комитет (53) УДК 667.661..2 (088.8) по делом изобрет...

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДИТИЗЬСТВУ Союз Соввтсинк Соцналнстнчвсина республик {51) М. Кл . F 27 В 1/10 )деударетеиивй квинтет CCCP ио авлан изе4ретеиий и еткрытий Опубликовано 23.01.82, бюллетень М 3 Дата опубликования описания 23.01.82 {53) УДК621.783..245 (088.8) (72) Авторы изобретения Э. П. Калошкин, А. Д. Рычаго, П. П. Долгий, В. А/Марцуть, В. С. Круть...

  Изобретение может быть использовано в электронной промышленности и обеспечивает повышение качества термообработки за счет предотвращения осаждения продуктов реакции в загрузочном конце. Устройство содержит обогреваемый реактор с патрубком ввода парогазовой смеси. Загрузочный конец реактора размещен вне нагревателя и снабжен крышкой с теплоизоляцией. Между крышкой и нагревателем ус...

  Изобретение относится к способам термообработки полупроводниковых пластин, а именно к окислению, сухому и пирогенному осаждению слоев, и позволяет уменьшить концентрацию образуемых при обработке на поверхности пластин дефектов за счет исключения осаждения продуктов реакции на стенках реактора. В реактор загружают пластины и герметизируют крышкой. Со стороны загрузки подают закруче...