ТУРИЯНСКИЙ Е.А.

  О Л -И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 00 440368 Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.12.71 (21) 1726585/23-4 с присоединением заявии № (51) М. Кл. С 07с 139/00 Государственный комитет Совета Министров СССР (32) Приоритет 18.12.70 (31) WP С07с 152/035 (33) ГДР Опубликовано 25.08.74. Бюллетень № 31 (53) УДК...

  Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных схем с применением техники ионного легирования. Цель изобретения - повышение эффективности отжига за счет более полного устранения дефектов и активации имплантированной примеси. Полированные пластины кремния имплантируют ионами, затем помещают в криостатную систему, позволяющую обеспечить к...