БОКОВ Ю.С.

  О П И С А Н И и I, i; 44looz Союз Советских Социалистических Республик ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВНДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свчд-ву 2 (51) М. Кл. Н 05 К 8/06 С 08 С 21/00 Н 01 1 2 1/306 (22) Заявлено 16.06.72 (21) «550816/26-9 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано05.08,76.Бюллетень №29 (45) Дата опубликования Описания 15.11.76 Гасударств...

  ! еъ с РФО Ф а.мФ и: 6!8 нк.; у N т .х 1; .6- о..ио". д l ". ° в А ц 4848l6 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.06.72 (21) 1550813/26-9 с присоединением заявки M (51) М. Кл.з H 05К 3/06 С ОЗС 21/00 Н 011 21/84 ГостдаРствениый комитет (23) Приоритет Совета Министров СССР п...

  1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕГАТИВНОЙ МАСКИ, включающий нанесение полимеркой пленки на подложку, ее экспонирование путем облучения потоfcoM частиц, обработку полимерной пленки в среде Мономера и проявление изображения, отлячающ и и с я тем, что, с целью улуч .шения технологических характеристик процесса, обработку полимерной проводят в парах Мономерного винилсилана общей формулы (CN CN)...