ШУЛЬГА АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ

  (11)), 44I50I ИЗОБРЕТЕН КЯ Союз Советских Соцнаттнстнческих Респ Гбттик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено I9. 07. 72 (21т.8П389/26-2 (51) М Кл. (0I п 27/22 с присоединением заявки Государственный комитет Совета Министров СССР оа делам изобретений и открытий (32) Приоритет Опубликовано30. 08. 7фюллетень ц 32 (451!Дата опусттикования описания Г5 Т2 7 (53) УИК54...

  О П И С -А-Н--И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Со ци а листиц вских Республик (11) 532796 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) ЗаявленоЗО.ОЗ.73 (21) 1899427/25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано25. 1О.76.Бюллетень № 39 (45) Дата опубликования описания 05.03.77 (5!) М, (л Q 01 N 27/22 Гасударственный комитет Совета Мин...

  Использование: изобретение может быть использовано для измерения давления с повышенной точностью. Сущность: повышение точности и технологичности достигается тем, что на полупроводниковой мембране сформирован на диэлектрическом слое подвижный электрод, причем он соединен металлизированным проводником через отверстия, выполненные в диэлектрическом слое, с полупроводниковой областью...