РЕМНЕВ ГЕННАДИЙ ЕФИМОВИЧ

  1ОЮЗящ аАтпг, () .-..-. Щаотенав Qgp ОП ИСАНЙ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскин Социалистических Республик (11) 44I663 ) ф4с фкфЪ (61) Зависимое от авт. свидетельства(22) Заявлено24,0I. 73 (21Х880688/26-0 (51) М. Кл. Н 03к Г7/02 Н 03 k 3/53 с присоединением заявки— Государственный квинтет Совета йнннстроа СССР оо делам нзооретеннй н открытнй (32) П...

  ОПИСА" НИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ тц 48647 4 Со о3 Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (G1) Дополнительное к авт. спид-ву 441G63 (22) Заявлено 19.11.73 (21) 1975912/26-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет Опубликовано 30.09.75. Бюллетень М 36 Дата опубликования описания 02.02.76 (51) М. Кл. Н 03k 17/02 H 03k 3/53 Государственный комитет Сонета Мини...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ оп 54036I Союз Советским Социалистическим Республик (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 17.07.75 (21) 2157326, 25 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 25.12.76. Бюллетень № 47 Дата опубликования описания 07.02.77 (51) М. Кл.2 Н ОЗК 3/53 Государственный комитат Совета Министров СССР оо делам изобр...

  Союз Советскмк Соцмалмстмческми Республик (и 744805 1 (6l) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07. 12.77 (21) 2552548/24 07 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано30.06.80. Бюллетень № 24 Дата опубликования описания 03.07„80 Н 01 Т 15/00 Н 03 К 3/53 Всударстввииы1 комитет до делам иэобретеиий и вткрытий (53) УДт(621.316..933(088.8) (72) Авторы изобре...

  Изобретение относится к нанесению покрытий для целей электроники. Цель изобретения -сохранение плотности пленок при уменьшении их толщины. Тонкие покрытия плотной структуры получены ионным распылением мишени при использовании пучка ионов атомной массы М^^12, с длительностью пучка ^10'^с и плотностью мощности, обеспечивающей высокоскоростное ос.аждение плотной плазмы на подложку. З...