МОНТВИЛЛО БРОНИСЛАВ КАЗИМИРОВИЧ

  О П И С ЭГН 3Ф ИЗОБРЕТЕН ИЯ 44675I Союз Советскнх Сощмалыстмчесаа Ресиублик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 3I. IG.72 (2 )I842I39/ХВ с присоединением заявки(51) М. Кл. (0I at Т3/04 Гааударстаенный наынтет Сената Мииистраа СССР аа делам нзаеретеннй н атнрытнй (32) Приоритет (53) УЯК 5Д 085 .4(088.8) Опубликована(5 П) 74Бюллетень № .)8 В (45),Дата опублико...

  Союз Советскик Социалистические Республик ОП ИСАНИЕ(945258 ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.05.80 (21) 2923700/22-02 с присоединениеM заявки % (23) Приоритет Опубликовано 23.07.82. Бюллетень ¹27 Дата опубликования описания 23.07. 82 (5t)M. Кл. С 25 F 3/14 9кударсткнный комитет СССР до делам изобретений н открытей...

  Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов, в частности адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем . Цель изобретения - повышение производительности контроля, которая достигается тем, что из партии исследуемых образцов выбирают эталонное покрытие и определяют его адгезию к подложке путем воздействия индентора на покрытие...