ПЛАСТЮК АЛЕКСАНДР ИВАНОВИЧ

  Boe;." э1о:.: .. ОП " ИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ » 458897 Союз Советских Соцналистнцескнх Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 11.01.72 (21) 1737489/26-25 с присоединением заявки 4— (32) Приоритет— Опубликовано 30.01.75. Бюллетень ¹ 4 Дата опубликования описания 07,08.75. (51) М.Кл. Н Olj 9/02 Н 01j 1/ЗО Государственный коми...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ п11 590597 Союз Советскик Саииаиистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.07.75 (21) 2163396/25-28 с присоединением заявки ¹ (51) М. Кл.з G OIВ 11/06 ГосУдарстоениый комитет (23) Приорите Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (43) Опубликовано 30.01.78. Бюллетень № 4 (45) Дата опуб...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСГ1УЬЛИК цц А 01 3 5/04 1 ! ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 12 П 1// ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ (21) 3352013/30-15 (22) 06.11.81 (46) 15.06.84. Бюл. Ф 22 (72) В.M.Ñåâåðèí, В.Н.Тернюк, А.И.Пластюк н А.M.Ãóáàðåâ (53) 637.125(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР Р 377 133, кл. А 01...

  Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может быть использовано при изготовлении микросхем, в лазерной технике при напылении материалов на кристаллы . Цель изобретения - воспроизводимость напыляемых пленок по толщине и повышение точности контроля. Устройство содержит датчик, выполненный в виде кварцевого резонатора с измерителем частоты, датчик с прозрачным для светово...