КАЛЬПУС ВАЛЕРИЙ ЮЛЬЕВИЧ

  О П И C=APH И"Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 0i) 459693 Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву № 324524 (22) Заявлено 10.11.72 (21) 1844993/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) M. Кл. G 011 1/20 Государственный комитет Совета Министров СССР Опубликовано 05.02.75. Бюллетень № 5 (53) УДК 531.781(088.8) по делам изо...

  Изобретение относится к области измерения механических величин электрическими методами. Целью изобретения является повьшение точности измерения за счет увеличения чувствительности и расширения диапазона измерений. Интегральный тензопреобразователь содержит упругий элемент, выполненный из кремния, на котором методами планарной технологии сформированы т.ензочувствительные МДП-транз...

  Изобретение относится к изготовлению полупроводниковых преобразователей и может быть применено в технологии микроэлектроники с целью повышения точности измерения давления. Преимущество достигается тем, что перед разделением пластины-заготовки 1 ее поверхность металлизируют путем вакуумного напыления алюминия, и затем пластину-заготовку подвергают термической обработке. 1 ил С...