Пэрди Марк Дж. (US)

 Использование: изобретение относится к устройству для использования в процессах инфильтрации газовой фазы химического вещества и химического осаждения из газовой фазы. Сущность: в устройстве предварительного нагрева для печи инфильтрации и осаждения из газовой фазы направляющая конструкция размещена в печи и выполнена герметичной, а подогреватель также содержит герметичную канальную струк...