БУЛАХ БОРИС МАКАРОВИЧ

  Союз Советских Социалистическии Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 05.07.71 (21) 1678462/24-7 с присоединением заявки ¹ Государствеииый коми гет Приоритет Совета Министров СССР по делам изобретений Опубликовано 30.04.75. Бюллетень № 16 (51) М. Кл. Н 05Ь 1/02 Н 05Ь 3/24 G 05 23/08 (о3) УДК 621.3.036:662. .9(088,8) и откр...

  Изобретение относится к технике глубокой очистки инертных газов и № от Оз, применяемойвпроизводстве полупроводников, содержащих Cd, Zn или Mg, и позволяющей повысить степень очистки . Устройство содержит вертикальный цилиндрический реактор со вставкой из керамики в форме стакана, расплавленный Cd, Zn или Mg, на дне вставки, нагреватель, патрубки ввода и вывода газа в верхней част...