АЛЕКСАНДРОВА Г.А.

  Союз Советских Социалистических Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 0Е.01 74 (21) 1М5162/23.5 с присоединением заявки № (23) Приоритет г л M. К С 10 С 3/02 Государственный камитот Сопота й1ииистров СССР по долам изабратоНий и открытий (43) Опубликовано 25.09.78. Бюллетень № 35 J (45) Дата опубликования...

  СПОСОБ ПОЛ>& :?.НИЯ ЭПИТАК- СИАЛЬНЬК ПОЛУИЗОЛИРУЮЩИХ СЛОЕВ АР- СЕНИЦА ГАЛЛИЯ путем выращивания из газовой фазы, например (Ga-AsCl,-Н ),содержащей пары легирующей примеси с глубокими уровнями, отличающийся тем, что, с целью получения структурно соверщенных слоев, обеспечения контролируемого легирования и повышения его технологичности, в качестве легирующей примеси ис...