СМИРНОВ СЕРГЕЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

  Сбюз Сове ских С циалисти еских Республик ИЗОБРЕТЕИ Мя il К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6 1 ) J(>II(>, I i II Tc,1 i>! Ioc I(аВТ. сВ>>д-В (221 Заян.i il,> 21.(18.72 (21) 1821996/23-26 >>р>(с(>(.,>(,>с;!>>елl за;(Вк>! №вЂ” (23) Прнорнтст— 0 i l ((,, ! ы> (3 а .:;> 1 4.>> 6. г о. Ь (о, >, с т c I ü ¹ 2 2 (,51) . >II. Кл. С OI d 1>>08 I осударстеенн»!й кпинтет Совета Мнннотроа...

  (i ц 682579 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 0alaa Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 27.10.76 (21) 2414390/23-23 с присоединением заявки Ме (23) Приоритет Опубликовано 30.08.79. Бюллетень М 32 Дата опубликования описания 30.08.79 (51) М. Кл.е С 25В 1/36 В 03С 1/00 Государртвекиый K4MHTBT (53) УДК 661.418...

  ОП ИСАНИЕ ИЗЬБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскик Соцналистичвскик Рвсп1тбпик < )969556 (6I ) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 05. Об,81 (21) 3302021/28-12 с присоединением заявки М (51)M. Кл. В 44 О, 5/00 В 08 В 7/00 3Ъаударстаапвй комитет СССР во двлам нзабрвтеннй и открытий (23) П риорнтет Опубликовано 30.10.82.Бюллетень № 40 (53) УДК 7.025.4...

  Изобретение относится к исследованиям и анализу физических свойств материалов с помощью оптических методов , а именно путем исследования цвета или поглощения световых лучей при помощи электрических средств обнар океиия локальных дефектов, Цель изобретения - новышение достоверности контроля дефектов фотошаблона, которая достигается введением новых блоков и функциональных связей, п...