Смольянинов В.Д.

 Способ может быть использован для получения на изделиях преимущественно ТНП периодических элементов растра. Производят вакуумное магнетронное распыление материала в аргонокислородсодержащей среде на подложку через маску с периодической профилированной структурой с профилем, изменяющимся по ее толщине, задающим рельеф наносимого прозрачного оптического покрытия с переменным радиусом кривиз...