Гринченко Л.Я.

 Способ может быть использован для получения на изделиях преимущественно ТНП периодических элементов растра. Производят вакуумное магнетронное распыление материала в аргонокислородсодержащей среде на подложку через маску с периодической профилированной структурой с профилем, изменяющимся по ее толщине, задающим рельеф наносимого прозрачного оптического покрытия с переменным радиусом кривиз...

 Изобретение относится к приборам для электронно-лучевой обработки объектов и может использоваться для обработки изделий электронным лучом как при вертикальном, так и при горизонтальном положении рабочей камеры и лучевого тракта, в том числе в условиях низкого вакуума в рабочей камере. Техническим результатом является стабилизация положения и размеров пучка в переходных режимах. В установк...