ТИТОВ ВАЛЕНТИН ВАСИЛЬЕВИЧ

  ОП ИЗОБРЕТЕН ИЯ ») 48 2669 Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.05.72 (21) 1790547/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.08.75. Бюллетень № 32 (51) М. Кл. G 01п 27/84 Государственный комитет Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 620.179.14 (08...

  Изобретение относится к устройствам для легирования материалов, в частности к аппаратуре для легирования поверхности ионными пучками, и может быть использовано в имплантационных установках с ионными источниками щелевого типа "калютрон" и электромагнитными масс-анализаторами ионного пучка. Целью изобретения является уменьшение габаритов, веса и энергопотребления магнита-анализатора...